Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) — это многофункциональное оборудование, которое далеко выходит за рамки устройства для получения увеличенных изображений. На рис. 1 фото типичного сканирующего электронного микроскопа, который состоит из электронно-оптической колонны, блока электроники и управляющего компьютера (иногда колонна и блок электроники объединены). У всех современных СЭМ изображения формируются сразу в цифровом формате, окуляров нет. Сравнение: оптика, СЭМ, ПЭМ
Рисунок 2. Типичные изображения: а - оптического микроскопа; б - сканирующего электронного микроскопа; в - просвечивающего электронного микроскопа.
Сравнение электронный сканирующий микроскоп с другими распространёнными микроскопическими техниками условно можно представить себе следующим образом, рис. 2: а) оптическая микроскопия — цветные снимки при малых и средних увеличениях; б) сканирующая электронная микроскопия — чёрно-белые снимки при малых, средних и больших увеличениях, объекты на снимках выглядят объёмными; в) просвечивающая электронная микроскопия — чёрно-белые снимки при больших и очень больших увеличениях, объекты на снимках выглядят плоскими.
В колонне СЭМ есть, сверху вниз: электронная пушка, где формируется пучок электронов; набор электромагнитных катушек, которые этот пучок фокусируют; камера образцов, где размещаются образцы. В наименовании СЭМ есть слово «сканирующий», потому что при построении СЭМ-изображений тонко сфокусированный пучок электронов сканирует поверхность образца, т.е. закрашивает образец точку за точкой. СЭМ-изображение формируется вслед за движением электронного пучка последовательно во времени, пиксель за пикселем. Для сравнения, фотографирование на фотоплёнку — это параллельный способ формирования изображения, потому что все зёрна фотоплёнки засвечиваются одновременно. Чем меньше диаметр электронного пучка, тем лучшего пространственного разрешения СЭМ можно добиться. Типичный диаметр электронного пучка < 10 нм, хотя эта величина сильно зависит от конструкции и настроек СЭМ.
При взаимодействии сфокусированного электронного пучка с поверхностью образца генерируется множество ответных сигналов, как то: электроны различных энергий и углов разлёта, характеристическое и тормозное рентгеновское излучение, иногда наведённый ток и излучение в оптическом диапазоне. Каждый тип сигнала особенно чувствителен к определённому свойству образца, для регистрации каждого типа сигнала нужна своя конструкция детектора. Свойства образца, наблюдение которых возможно в СЭМ, это: топография поверхности образца, композиционный контраст, состав микрокомпонентов, ориентационный контраст, а также более тонкие особенности, которые труднее выявить, такие как различия в проводимости, в магнитных свойствах, наличие дефектов кристаллической структуры, наличие микропримесей. |
23-04-2021, 11:55
|
История других клубов
|